【48812】激光替代光刻可下降超外表出产所带来的本钱

  科技日报莫斯科8月1日电 （记者董映璧）俄罗斯国立研究型大学莫斯科电子技能学院科研人员，运用激光脉冲替代光刻开发出了一种为信息显现设备创立元件的新技能。这将加速下降下一代显现器和各种光学体系超外表的出产本钱。研究结果宣布在新一期《运用外表科学》上。

  超外表是带有周期性图画的结构，可用于操控电磁波和光波。在此基础上，可运用介电资料、金属资料以及相变资料。而相变资料能改动相态，然后改动取决于外部辐射的特性。

  在由相变资料GST（锗—锑—碲体系的化合物）制成的超外表的基础上，研究人员开发了能凭借光波显现信息的新式紧凑型设备。这中心还包含超薄显现器、增强实际和虚拟实际耳机以及全息投影仪。但是，对薄膜标明上进行纳米结构化以将其转变为多功能外表的进程，迄今仍运用劳动密集型且本钱昂扬的光刻技能进行。首要要在模板（掩模）上创立必要的超外表图画，然后以选定的分辨率将其转移到物体上。

  为了下降薄膜结构构成的本钱并加速这一进程，莫斯科电子技能学院联合其他科研机构运用激光脉冲替代光刻。研究人员称，凭借超短脉冲的激光辐照，可更快、更容易地在GST上创立有序的纳米结构。要构成有序的外表，运用预先完成的进程，即在激光的效果下损坏之前的资料。解决方案的首要优势是脉冲触发外表上结构的自我安排。依据脉冲的强度和数量，或许构成3种不一样的结构，其间最令人猎奇的是周期性摆放的相同尺度的纳米球。这些形状很难构成，其半径可达150纳米。

  曾经，假如不运用额定的技能，就无法在这些资猜中取得它们，但现在，除了激光设备和薄膜自身之外，取得同一款式的纳米球不需要任何设备。这些球体是因为熔化的细丝衰变而发生的。在此情况下，激光照耀能量的添加会引起传质进程，因而导致纳米球链转变为周期性浮雕。上述技能使得创立高度有序的纳米透镜和光学纳米光栅成为或许，并有望进一步与各种光学体系一体化，包含信息数据显现体系。

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